PCE-66是一款小型紫外臭氧清洗機(jī)，可用于清洗各種單晶基片，以保證更好的成膜質(zhì)量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。內(nèi)置加熱管，可加熱基片，最高加熱溫度150℃，PID方式控溫，可設(shè)置30段升降溫程序。·體積小，重量輕
·能除去分子級別的污染物
·可清洗各種基片

產(chǎn)品名稱	PCE-66紫外臭氧清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)	PCE-66
主要參數(shù)	1、電源：AC 220V 50HZ 2、功率：750W 3、最高加熱溫度：150℃ 4、照射時(shí)間設(shè)定：0-30min 5、標(biāo)配一塊石英樣品臺(tái)用于放置基片，避免污染 6、石英樣品臺(tái)尺寸：150*150*20mm 7、抽拉盒尺寸：200*230*23mm 8、紫外線燈 · 形態(tài)：UV燈管 · 功率：8W*4=32W · 波長：185nm+254nm · 輻照面積：150*150mm · 光照強(qiáng)度：80μW/cm2 9、風(fēng)機(jī) · 設(shè)備背面設(shè)有一個(gè)排風(fēng)口，尺寸：φ80mm · 標(biāo)配一個(gè)風(fēng)機(jī)安裝在設(shè)備背面的排風(fēng)口，設(shè)備背面的三芯插座為風(fēng)機(jī)的電源插座 · 將鋁波紋管與風(fēng)機(jī)連接，將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外 · 標(biāo)配波紋管長度：5米 10、溫控系統(tǒng) · 包含一款858P型溫度控制器； · PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)； · 智能化30段可編程控制； · 內(nèi)置過熱保護(hù)和熱電偶故障報(bào)警； · 控溫精度：±1℃；
	11、產(chǎn)品規(guī)格： · 抽屜不打開尺寸：長270mm*寬300mm*高247mm · 抽屜打開尺寸：長270mm*寬540mm*高247mm ·重量：約8.6kg

· UV裝置應(yīng)由工礦企業(yè)、院校等相關(guān)專業(yè)人員操作或指導(dǎo)使用。
· 嚴(yán)禁直接用眼直接看點(diǎn)亮中的UV燈管，否則會(huì)引起眼的傷害，非常危險(xiǎn)。
· O3臭氧是刺激性臭及強(qiáng)氧化性的氣體，對身體有害。盡量在通風(fēng)柜或通風(fēng)環(huán)境使用。
· 應(yīng)避免在高溫、多濕、多塵、腐蝕氣體、酸堿性等的環(huán)境中使用。
· 為保護(hù)生命，請務(wù)必連接接地線，并保證可靠。
· 清掃等作業(yè)時(shí)必須先將電源切掉。
· 未經(jīng)許可不可對本裝置進(jìn)行改造或加工，本公司一概不負(fù)對已改造、加工設(shè)備的責(zé)任。
· 操作時(shí)請使用清潔的手套。用手直接接觸UV燈管會(huì)在燈管外表留下指紋，使紫外線的透過率降低。燈管上摸上指紋時(shí)，請用沾酒精的棉布擦去。（注：燈管屬耗材，不在保修范圍內(nèi)）
· 如需更換燈管時(shí)，必須切斷電源，手拿燈管時(shí)應(yīng)戴好棉手套。（注：需要專業(yè)工作人員進(jìn)行更換）
· 石英照射管隨著時(shí)間的推移，內(nèi)外面會(huì)吸附污塵，引起紫外線透過率下降，根據(jù)污染情況請定期進(jìn)行清洗。